環球晶圓竹南廠製程冰水系統改善(能源署ESCO補助)

環球晶為製造晶圓之全球大廠，歷年來積極配合政府「 循環經濟 」政策，在製程與供應設備技術上的不斷精進與創新，延請工研院、產基會與ESCO業者蒞廠指導、提出有效之節能改善措施，近年(108至113年)更斥資超過1億元，執行超過40項各式節能改善專案，囊括製程、設備、空調、空壓、燈具等諸多面向，預估省電超過1,600萬度，持續改善之成效有目共睹。

本案於2022年執行前期診斷服務，以製程冰水主機系統之改善為主要範圍，以「最大化節能成效、最小化投資成本」為原則，提出多種可行方案進行比較，最終協助環球晶圓在有限預算內選擇最具成本效益的改善方案，申請並獲得該年度能源署ESCO專案補助，年節省超過400萬度電力，專案節能率達60%，完工後經兩年以上之追蹤調適，節能提升仍維持58%之良好表現，

本案執行成效良好，2023年由竹科管理局選為節能示範案例，2025年，鈞元公司因執行本案，獲得能源署與ESCO公會專家青睞，獲頒ESCO廠商製造業專案之績優獎，此案例成功的原因是鈞元找出了影響系統能效的關鍵原因(冰水主機之蒸發溫度)，選用正確的系統設計與設備規格，並實現顯著的自動化與節能成效，協助業主邁向低碳製造的里程碑。

改善內容

• 根據實際需求，搭配選用高水溫設計之製程冰水主機。
• 導入變頻：一次側冰水泵、冷卻水塔、冷卻水泵。
• 節能控制最佳化：穩定製程水溫控制、配合長期追蹤與分析、重新研討最佳化之冰水主機運轉水溫，進行能耗分析與效率追蹤，提供後續維運與節能優化依據。
• 藉由EMS的導入與全自動化控制，使系統長期維持在高效率狀態運作，同時兼顧節能成效與製程穩定性，達成持續性的能源管理目標。